Bij toepassingen waar vacuüm een rol speelt in de uiteindelijke werking van apparatuur is het cruciaal dat deze aan de eisen voor productie en reinheid voldoen. Om die reden worden heel strenge eisen gesteld aan ketenpartners. De meest bekende toepassing waar dit speelt is de semiconductor industrie, maar ook bij researchapparatuur, optica, lucht- en ruimtevaart en medische apparatuur komen vergelijkbare omstandigheden voor.
HIO-elementen
In een vacuümomgeving kunnen HIO-elementen op of in het oppervlak van een onderdeel een wisselwerking aangaan met de omgeving. Typische HIO-elementen die kunnen reageren zijn Zn (zinc), Sn(Tin), Pb (Lead), In (Indium), Mn (Manganese), F (Fluor), Cl(Chloride), S (Sulfor), P (Phosporus), Si (Silicon), Na (Sodium), Ca Calcium), Mg (Magnesium), N (Nitrogen), Cu (Copper), Au (Gold) en Ag (Silver). Met ‘een wisselwerking aangaan’ wordt concreet bedoeld dat deze kunnen uitdampen cq loskomen van een oppervlak van het onderdeel/component en vervolgens zweven in de apparatuur. Deze interactie kan een negatief effect hebben op het proces of de functie van het product. Door de lage omgevingsdruk komen de in de machine aanwezige HIO-elementen gemakkelijk vrij om zich vervolgens te mengen met het in de machine aanwezige restgas. Het effect van het restgas op bijvoorbeeld een laserbundel is afhankelijk van de functie van het atoomnummer van de resterende gasatomen en moleculen in het restgas. Hoe hoger het atoomnummer hoe groter het effect op de laserbundel en daarmee de werking van de machine. Over het algemeen zijn koolstofhoudende moleculen (met een hoger atoomnummer) schadelijker dan bijvoorbeeld waterstofmoleculen.
Maar er zijn meer redenen om HIO-elementen te mijden. Zo staan zink en magnesium bekend om hun lage dampspanning, wat een hoog risico tot verspreiding (zweven) met zich meebrengt en wordt silicium aangetast door fluor, wat tot dichtingsproblemen kan leiden. Oftewel: bij ieder HIO-element is er een goede reden om deze volledig uit het proces verwijderd te zien. Dit kan op verschillende manieren, zoals bijvoorbeeld het goed reinigen van producten. Echter, voorkomen blijft altijd beter dan genezen en in dat kader heeft KSM een revolutionaire oplossing.
De oplossing / RGA testprotocol
De revolutionaire oplossing van KSM bestaat uit het innovatieve koelsmeerconcept Aquaslide. Deze revolutionaire olievrije vloeistof op waterbasis is niet alleen geheel vrij van koolwaterstoffen, maar heeft ook extreem goede resultaten laten zien tijdens een, onder regie van ASML, uitgevoerd RGA-testprotocol. Meer weten over deze resultaten, neem dan contact op met KSM.
Voor meer informatie kunt u altijd contact opnemen.
Volg KSM op LinkedIn
Meteen op de hoogte zijn van o.a. nieuwe producten en/of oplossingen, KSM nieuws en interessante artikelen/video’s? Volg ons dan via LinkedIn en ontvang automatisch updates.
Wilt u ook maximaal produceren tegen minimale kosten?
KSM heeft haar jarenlange ervaring en kennis, topkwaliteit producten én veelzijdige service gebundeld in de RCL (Reliability Centered Lubrication) methode. Hierdoor wordt stapsgewijs, zowel op product- als procesniveau, de klant begeleid naar het maximaal produceren tegen minimale kosten door middel van optimaal (smeertechnisch) onderhoud.
Het resultaat: productiemaximalisatie, een verlaging van risico’s en tot wel 30% kostenbesparingen.
