De noodzaak van clean verspanen voor de lithografie- en halfgeleiderindustrie hoeft in 2026 geen uitgebreide toelichting meer. Wie levert aan de ASML-keten weet wat Grade 2 inhoudt, kent de HIO-problematiek en begrijpt de consequenties van contaminatie op EUV-optiek.
Wat wél nieuw is, is de snelheid waarmee de reinheidseisen zich verbreden naar andere hightech sectoren. De ingrijpende gevolgen van de ASML-ZEISS harmonisatie van 2025, de toenemende druk op kostencompetitiviteit in de keten, en de paradigmaverandering in hoe de sector denkt over contaminatiebeheersing zijn de ontwikkelingen die er nu toe doen.
Technische reinheid: wat betekent het écht?
Een werkstuk kan er schoon uitzien terwijl het op microscopisch niveau bezaaid is met contaminanten die in de uiteindelijke toepassing tot ernstige problemen leiden. Technische reinheid onderscheidt zich fundamenteel van visuele reinheid. Drie categorieën zijn relevant: particulaire reinheid, filmische reinheid en moleculaire reinheid (HIO).
Particulaire reinheid
Het aantal en de grootte van deeltjes per oppervlakte-eenheid (ISO 16232/VDA 19). Bronnen zijn: spanen, slijppartikels, corrosieproducten, gereedschapsslijtage en omgevingsdeeltjes. Een circuit met 10 micrometer absolute filtratie reduceert de deeltjesbelasting met een factor 5 tot 10.
Filmische reinheid
Organische en anorganische oppervlakteresiduen van het koelsmeermiddel — basisolie, additieven en hun degradatieproducten. Minerale oliën vormen doorgaans dikkere, moeilijker verwijderbare films dan synthetische alternatieven.
Moleculaire reinheid (HIO)
Vluchtige verbindingen onder vacüüm, met name de 14 HIO-elementen die ASML als prohibitief classificeert. Bij EUV-lithografie is dit de meest kritische categorie. Gemeten via Rest Gas Analyse (RGA).
Onze whitepapers
KSM heeft drie zeer interessante whitepapers over Clean Verspanen ontwikkeld. Deze zijn te downloaden via onderstaande button.
Voor meer informatie kunt u altijd contact opnemen.
Volg KSM op LinkedIn
Meteen op de hoogte zijn van o.a. nieuwe producten en/of oplossingen, KSM nieuws en interessante artikelen/video’s? Volg ons dan via LinkedIn en ontvang automatisch updates.
Wilt u ook maximaal produceren tegen minimale kosten?
KSM heeft haar jarenlange ervaring en kennis, topkwaliteit producten én veelzijdige service gebundeld in de RCL (Reliability Centered Lubrication) methode. Hierdoor wordt stapsgewijs, zowel op product- als procesniveau, de klant begeleid naar het maximaal produceren tegen minimale kosten door middel van optimaal (smeertechnisch) onderhoud.
Het resultaat: productiemaximalisatie, een verlaging van risico’s en tot wel 30% kostenbesparingen.
